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高精度光纖定位：在整片晶圓上對所有V型槽進行同步加工，實現48、96及更多通道數下，累積pitch公差或絕對網格誤差低至 ±0.250 μm。
先進的V型槽工藝：提供更高設計靈活度，同一陣列內可實現不同的間距與表面結構（V/U 型、凸面、凹面、自由曲面等）的同步加工。
可集成機械定位結構：支持被動對準和高精度裝配，實現結構與功能一體化。
晶圓級全檢：通過幾何測量與接觸點測量，對關鍵性能參數進行 100% 檢測并分析所有的光纖中心位置。
多種性能等級可選：可根據客戶需求和應用場景，提供標準精度版本和高精度版本。
成熟的量產平臺：依托20余年大批量光學制造經驗，具備穩健、高度可擴展的生產能力。
技術指標
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光纖定位與性能相關參數 (1) |
標準精度版本 |
高精度版本 |
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V型槽陣列 X 方向誤差 (2) (4) |
< 500 nm |
< 250 nm |
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V型槽陣列 Y 方向誤差 (3) (4) |
< 750 nm |
< 350 nm |
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V型槽線性定位精度 (4) |
± 0.010 mm |
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V型槽間距公差 (X 方向) (4) |
± 500 nm |
± 200 nm |
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側壁垂直度 (5) |
90 ± 0.3° |
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V型槽表面粗糙度 (Ra) |
< 0.2 μm |
< 0.02 μm |
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V型槽深度 |
可自由定制 |
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V型槽角度 |
60°、90°或定制 |
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V型槽角度公差 |
< ± 2° |
< ± 1° |
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V型槽間距（X 方向） |
0.127 mm、0.250 mm，或定制；同一產品上可實現多種間距 |
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產品尺寸與材料 |
? |
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長度 / 寬度尺寸（圓形或方形） |
最大可達 300 mm |
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長度 / 寬度公差 |
± 0.025 mm |
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厚度公差 |
± 0.050 mm |
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平臺高度 (Plateau) |
3 0.100 mm |
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平臺高度 (Plateau) 公差 |
± 0.020 mm |
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通道數 |
8、16、32 (36)、48、96、128 或定制 |
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表面質量 – V型槽區域 |
5/ E0.1，如有需要可進一步減少崩邊 |
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表面質量 – 外緣區域 |
5/ E0.1，如有需要可進一步減少崩邊 |
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材質 |
Borofloat 33、熔融石英、S-TIH53、S-BSL7（及類似材料如 N-BK7）、硅；其他無毒光學玻璃可按需提供 |
注:
(1) 多個參數之間存在相互影響，并非需要全部進行評估、報告或作為驗收標準。如需更多信息或詢問超出規格的需求，請與我們聯系。
(2) 相對于標稱位置的橫向偏差，或水平方向上的真實定位公差。
(3) 相對于標稱位置的縱向偏差，或垂直方向上的真實定位公差。
(4) 以嵌入光纖的中點為基準。
(5) V型槽 pitch 軸與前表面之間的垂直度。
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