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光場勻化器可生成多種光束形狀- 平頂、矩形、方形和線形 -- 典型發(fā)散角從0.20度到11.21度
均勻性達到技術極限 (不均勻度不超過1%)
高 NA、高填充因子和極化保持
光學效率高達 90%,有助于降低高昂的激光能量成本
采用優(yōu)質(zhì)材料制成,例如熔融石英、CaF2,適用于多種不同激光源(例如準分子激光器、固態(tài)激光器和半導體激光器)
在不同的晶圓尺寸(最大300mm)上生產(chǎn)高精度的自由曲面透鏡。

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